Drehdurchführung für Vakuum

Konstruktionsmerkmale

• Vakuumtechnische Abdichtung
   bis 10^-6 mbar
• Verschiedene Werkstoffkombinationen
   zur Auswahl
• Einfache Montage durch
   vormontierte Einheit
• Modulkonzept erlaubt
   einfach konstruktive Varianten

Einsatzgrenzen*

Druck:
Temperatur:
Gleitgeschwindigkeit:

bis 10^-6 mbar
bis 300°C
bis 2 m/sec

* in Abhängigkeit von Baugröße,
Ausführung und Werkstoffauswahl

Werkstoffe

Dichtungswerkstoffe:

Sonstige Bauteile:

NBR, EPDM, FKM,
PTFE verstärkt

Edelstahl, Aluminium,
Messing

Weitere Werkstoffe auf Anfrage

Optionen

• Leistungsübertragung
für Hochfrequenz 13,56 MHz
• Leistungsübertragung
für Mittelfrequenz
• Kombination mit verschiedene Medien
• Integration von Rotationsantrieben
• Direkter Anbau von Stellmotoren

Drehantrieb Plasmaprozess

Medium: Vakuum und Prozessgase
Temperatur: 200 °C
Drehzahl: <50 min^-1
Druck: bis 10^-5 mbar

Besonderheiten

• Koaxiale Leistungsübertragung
   für Hochfrequenz 13,56 MHz in
   drehendem Substrathalter
• Gekühlte Vakuumdichtung
• Integrierter Drehantrieb über
   Zahnriemen mit Positionserkennung

Drehantrieb Plasmaprozess

Medium: Vakuum und Prozessgase
Temperatur: <100°C
Drehzahl: <20 min^-1
Druck: bis 10^-5 mbar

Besonderheiten

• 4 polige Leistungsübertragung für
   Mittelfrequenz in drehendem
   Substrathalter
• Integrierter Drehantrieb
   über Kette

Drehantrieb Plasmaprozess

Medium: Vakuum und Prozessgase
Temperatur: 200 °C
Drehzahl: <10 min^-1
Druck: bis 10^-5 mbar

Besonderheiten

• Transportrolle für lineare
Substratbewegung über
Zahnriemen angetrieben