Drehantrieb Plasmaprozess

Drehantrieb Plasmaprozess

Drehantrieb Plasmaprozess

Allgemeine Betriebsdaten

Medium: Vakuum und Prozessgase
Temperatur: 200° C
Drehzahl: < 50 min-1
Druck: 10-5 mbar

Integrierte Funktionen

  • Koaxiale Leistungsübertragung für Hochfrequenz 13,56 MHz in drehenden Substrathalter
  • Gekühlte Vakuumdichtung
  • Integrierter Drehantrieb über Zahnriemen mit Positionserkennung