Drehantrieb Plasmaprozess

Drehantrieb Plasmaprozess

Drehantrieb Plasmaprozess

Allgemeine Betriebsdaten

Medium: Vakuum und Prozessgase
Temperatur: 200° C
Drehzahl: bis 50 min-1
Druck: bis 10-5 mbar

Besonderheiten

  • Koaxiale Leistungsübertragung für Hochfrequenz 13,56 MHz in drehenden Substrathalter
  • Gekühlte Vakuumdichtung
  • Integrierter Drehantrieb über Zahnriemen mit Positionserkennung