Drehantrieb Plasmaprozess

Drehantrieb Plasmaprozess

Gaszufuhr für thermischen Prozess

Allgemeine Betriebsdaten

Medium: Vakuum und Prozessgase
Temperatur: bis 100° C
Drehzahl: 20 min-1
Druck: bis 10-5 mbar

Besonderheiten

  • 4 polige Leistungsübertragung für Mittelfrequenz in drehendem Substrathalter
  • Integrierter Drehantrieb über Kettenantrieb