Drehantrieb Plasmaprozess 3
Drehantrieb Plasmaprozess 3
Allgemeine Betriebsdaten
| Medium: | Vakuum und Prozessgase |
| Temperatur: | 200° C |
| Drehzahl: | bis 10 min-1 |
| Druck: | bis 10-5 mbar |
Besonderheiten
- Transportrolle für lineare Substratbewegung über Zahnriemen angetrieben
