Drehantrieb Plasmaprozess 3

Drehantrieb Plasmaprozess 3

Drehantrieb Plasmaprozess 3

Allgemeine Betriebsdaten

Medium: Vakuum und Prozessgase
Temperatur: 200° C
Drehzahl: bis 10 min-1
Druck: bis 10-5 mbar

Besonderheiten

  • Transportrolle für lineare Substratbewegung über Zahnriemen angetrieben